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Physik Instrumente(PI)位移臺

Physik Instrumente(PI)位移臺
納米定位壓電彎曲平臺
微型舞臺
線性平臺
線性執(zhí)行器
旋轉(zhuǎn)臺
XY平臺

  • 產(chǎn)品型號:P-733.3CD
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-09
  • 訪  問  量:1834
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聯(lián)系電話:18513086679

產(chǎn)品詳情

Physik Instrumente(PI)位移臺

納米定位壓電彎曲平臺

微型舞臺

線性平臺

線性執(zhí)行器

旋轉(zhuǎn)臺

XY平臺

PI的多軸壓電撓性位移臺允許在多達6個軸上以亞納米精度進行定位和掃描,包括,傾斜和偏航運動。版本范圍從緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術的方位工具。應用包括樣品調(diào)整,技術,光學計量,光纖定位和光子學以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統(tǒng)均已在工廠校準,并隨測量記錄一起提供。

P-733.3 XYZ壓電納米定位器

應用領域

  • 掃描顯微鏡
  • 共聚焦顯微鏡
  • 掩膜/晶圓定位
  • 表面測量技術
  • 納米壓印
  • 顯微操作
  • 圖像處理/穩(wěn)定
  • 納米定位具有很高的平面度和運動平直度

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了的運動線性,長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時,數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。

適用于復雜的真空應用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的除氣率。

PICMA®壓電執(zhí)行器,使用壽命長

獲得利PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明,沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導軌,導向精度高

撓性導板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量,在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為參考??梢詫崟r(取決于帶寬)主動補償(主動引導)軸之間的不良串擾。即使在動態(tài)操作中,也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。

P-733.3CD

P-733.3CD

P-733.3CL

P-733.3DD

P-733.3CL

P-733.3DD

應用領域:

  • 六腳架支持工業(yè)機器人
  • 科學儀器
  • 半導體技術
  • 顯微鏡檢查
  • 硅光子學
  • 技術
  • 材料研究
  • 機械工業(yè)
  • 更多其他產(chǎn)品的型號如下
  • Physik Instrumente  M-235.5DG
  • Physik Instrumente  FH430A69-05+197
  • Physik Instrumente  S-330.2SH
  • Physik Instrumente  PI E-727.3SDA
  • Physik Instrumente  PI E-727.3SD
  • Physik Instrumente  P-561.3CD
  • Physik Instrumente  E-727.3CD
  • Physik Instrumente  P-562.6CD
  • Physik Instrumente  E-712.6CD
  • Physik Instrumente  S-330.2SL
  • Physik Instrumente  E-501.00
  • Physik Instrumente  E-503.00S
  • Physik Instrumente  E-509.S3
  • Physik Instrumente  E-518.I3
  • Physik Instrumente  P-616.3C
  • Physik Instrumente  E-727.3CD
  • Physik Instrumente  E-873.1AT
  • Physik Instrumente  H-825.D2A
  • Physik Instrumente  C-887.52
  • Physik Instrumente  E-841.55
  • Physik Instrumente  E-831.05
  • Physik Instrumente  E-841.55
  • Physik Instrumente  N-565.160
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